恒格微电子半导体晶圆等离子刻蚀设备,在线等离子除胶系统设备研产基地(珠海恒格微电子装备有限公司) 大型
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项目概况
工程地区 | 广东省-珠海市-香洲区 | 项目类型 | 其他公共建筑 |
| 项目阶段 | 立项 | 建设性质 | 新建 |
| 甲方类型 | -- | 外资类型 | -- |
| 层高 | -- | 建设周期 | 2024年2季度 - 2028年3季度 |
| 投资金额（万元） | 60000 | 更新时间 | 2024-05-22 （发布：2024-05-22） |
| 项目地址 | |||
| 项目描述 | 该项目主要建设为：( 一 ) 碳化硅刻蚀设备替代长期依赖进口的产品，由恒格专家团队合力开发的国产碳化硅刻蚀设备，采用创新技术，提高刻蚀速率及刻蚀均匀性，通过更换部分备件可满足TGV、TCV、TSV等工艺需求，解决半导体高端制造设备的“卡脖子”问题；（二）静电吸盘作为半导体装备的核心部件，长期被国外厂商垄断，公司研发出来静电吸盘，解决国产半导体高端装备核心零部件被“卡脖子”问题，并且研发出独特的设计，可以提高温度均匀性，满足日益严苛的工艺需求。 | ||
项目主要材料设备 | 暂无材料信息 | ||
| 项目工期及阶段 | 截止目前2024年5月22日，该项目处于立项阶段，预计2024年2季度开工 | ||
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