晶圆级微光机电器件研发与中试平台新建项目(湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)) 大型
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项目概况
工程地区 | 广东省-广州市-增城区 | 项目类型 | 市政公用设施 |
| 项目阶段 | 立项 | 建设性质 | 新建 |
| 甲方类型 | -- | 外资类型 | -- |
| 层高 | -- | 建设周期 | 2024年4季度 - 2027年4季度 |
| 投资金额（万元） | 30000 | 更新时间 | 2024-05-31 （发布：2024-05-31） |
| 项目地址 | |||
| 项目描述 | 项目建于香山雅苑南区湖大粤港澳大湾区创新研究院（广州增城），拟建设总面积3000----米的微光机电器件研发验证与中试熟化平台，其中超净实验室2700----米，超算机房300----米。平台将购置电子束光刻机、高速激光直写设备、高分辨接触式光刻机、离子束镀膜与刻蚀、ICP刻蚀等泛半导体制造设备及搭建完整的标准软件库及平台管理系统。通过四年建设，形成具有定制开发、小批量交付能力的晶圆级微光机电器件研发验证与中试熟化平台，具备快速定制化的先进制造加工能力，有力支撑广东泛半导体相关的新兴产业及未来产业的发展。 | ||
项目主要材料设备 | 暂无材料信息 | ||
| 项目工期及阶段 | 截止目前2024年5月31日，该项目处于立项阶段，预计2024年4季度开工 | ||
项目动态
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业主