高真空多功能复合薄膜沉积项目(上海交通大学)
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项目概况
工程地区 | 上海-上海市 | 项目类型 | -- |
| 项目阶段 | 设计 | 建设性质 | 新建 |
| 甲方类型 | -- | 外资类型 | -- |
| 层高 | -- | 建设周期 | -- |
| 投资金额（万元） | 2875 | 更新时间 | 2025-11-11 （发布：2025-11-11） |
| 项目地址 | |||
| 项目描述 | 采购设备包括：1套真空多腔体磁控溅射系统，技术要求包括进样室电解抛光SUS316L不锈钢真空腔室、前开门设计、双胶圈差分抽气密封、升降电缸、烘烤功能等；1套超高真空低温电子束蒸发系统，包含进样/表面预处理腔室、2个电子束蒸发室及氧化室共四个超高真空腔室，其中1套支持倾斜及旋转；1套氧化铪原子层沉积设备，前驱体不少于4个单管式50ml固体液体源，其中2个源瓶带加热器，加热精度180±1ºC。合同签订后12个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格。 | ||
项目主要材料设备 | 暂无材料信息 | ||
| 项目工期及阶段 | 截止目前2025年11月11日，该项目处于设计阶段，预计2026年1季度开工 | ||
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单位：上海交通大学