多腔体Kiteav链制备系统(上海交通大学)
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项目概况
工程地区 | 上海-上海市 | 项目类型 | -- |
| 项目阶段 | 设计 | 建设性质 | 新建 |
| 甲方类型 | -- | 外资类型 | -- |
| 层高 | -- | 建设周期 | -- |
| 投资金额（万元） | 6500 | 更新时间 | 2025-11-13 （发布：2025-11-13） |
| 项目地址 | |||
| 项目描述 | 采购1套多腔体Kiteav链制备系统，半导体工艺腔内径不小于500mm，腔体采用316L不锈钢制造，充分烘烤后背底气压优于7E-11Torr，配置12个不小于DN63 CF的源炉法兰口，并配备主挡板、样品台、样品传输、快门、反射式高能电子衍射仪、荧光屏、残余气体分析仪、束流监测器（BFM）、观察窗和泵浦系统等配件的相应法兰口。 | ||
项目主要材料设备 | 暂无材料信息 | ||
| 项目工期及阶段 | 截止目前2025年11月13日，该项目处于设计阶段，预计2026年1季度开工 | ||
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单位： 上海交通大学