年产200万片功率晶圆半导体生产自动化改造项目(江西芯光微电子有限公司)

拟在江西省抚州市南城县原有200万片功率器件产线基础上局部进行自动化升级改造，项目总投资预计2200万，全部用于新增自动化设备，淘汰原有的手动工艺及设备，在光刻和划片工艺上实现自动化运行，提高产品一致性水平，提升品质。主要新增的生产设备包括：MZW-BDMA2024V2型自动双面光刻机1台，MZW-AUEP2024V1（i7）型自动双面光刻机1台，DAD/DFD641型划片机20台，disco1440自动清洗机1台。完成后能有效提升200万片功率器件产线的产品品质。通过全自动光刻机的投入使用，提升200万片功率器件产线的产品品质。

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。