大型多重高精度镀膜系统及配套设施(中国科学院赣江创新研究院)

1. 高温超导带材缓冲层精准镀膜系统 (1) 电源：直流/射频/中频/脉冲直流电源 (2) 功率：最大5kW (3) 靶形式：圆靶或矩形靶，单靶、多靶、孪生靶可选（平面矩形，成膜材料：陶瓷材料） (4) 真空室尺寸: 可定制 (5) 真空系统：机械泵+分子泵（真空泵组可选） (6) 极限真空：5×10-5Pa (7) 烘烤温度：最高400℃，PID 可调可控 (8) 基片台：水冷或加热可选，最高1000℃ 2. 离子束辅助精确沉积镀膜系统 (1) 溅射源：矩形射频离子源 (2) 辅助源：矩形射频离子源 (3) 规格：6×22cm 或6×66cm 可选 (4) 束流能量：100 至1500eV (5) 真空室尺寸：定制 (6) 真空系统：机械泵+低温泵（或钛升华泵、溅射离子泵、分子泵组） (7) 极限真空：5×10-7Pa (8) 烘烤温度: 最高400℃，PID 可调可控 (9) 预留RHEED（反射式高能电子衍射装置）安装位置

线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。 电气设备：电力工程、电力安装、电力设备、变压器、电力变压器、干式变压器、压力变送器、高低压配电工程、高低压电气设备、高低压设备、高低压柜、高低压配电柜、配电柜、高压柜、高低压成套设备、高低压配电设备、配电设备、高压电器、低压电器、电器、高低压开关柜、高压开关柜、高低压开关、电气开关、自动转换开关、配电箱、电表箱、电气、低压电气、断路器、低压断路器、电容、电容器、继电保护、浪涌保护器、有源滤波器、逆变器、稳压器、互感器、过电压保护器、传感器、变频器、开关柜、仪器仪表、电气元件、元器件、无功补偿、无功补偿装置、双电源、电力仪表、防雷器、电力变压、箱变、箱式变电站、配电屏、柴油发电机组、发电机、发电机组、排气系统、蓄电池、太阳能电池、熔断器、控制器、继电器、模拟、电气仪表、智能仪表、避雷器、防雷接地装置、UPS、电抗器、低压配电屏、起动器、保护器、电动机、EPS电源、多功能仪表、电流表、双电源ATS、电气产品、智能电表。 电梯：乘客电梯、扶手电梯