半导体微纳加工中试验证基地项目(广东省佛山市) 大型

本项目主要从事化合物半导体及硅基MEMS传感领域的微纳加工中试公共服务，面向器件主要包括氮化镓功率器件、氮化镓光电子器件、环境传感器、力学传感器、光学传感器与执行器件等。本项目为技术改造，在原有制造基础上增置核心服务设备，提升工艺多样化服务能力。厂房1栋，建筑面积2.4万----米，本项目占用厂房面积约5000----米，设有千级生产净化车间、化学品仓。拟购置设备包括：步进式光刻机、涂胶显影机、SACVD、溅射台（PZT）、光学镀膜机、RIBE、超声检测仪、光学显微镜、分光光度计、FIB、AFM等。

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。