高端半导体静电卡盘研制及产业化项目(广东省佛山市) 大型

项目主要研制交付包含库伦型、J-R型等面向半导体12寸晶圆生产(薄膜沉积、刻蚀等工艺)应用之静电吸盘的设计开发、工艺验证、与量产交付(月产能达50套以上)等产业化实施。产品关键内容包含高纯度陶瓷材料(以Al2O3与AlN为主)配方设计与验证、烧结工艺、体电阻与吸附力系统设计、材料热导率、平面度/粗糙度工艺、多区加热器设计与背面氦冷/液冷精密智能控制、聚焦环与RF电场匹配设计等，以保证电极吸附与加热均一性严苛要求，同时满足在高低温循环与等离子环境下使用寿命的要求。

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。