第四十八研究所"三束"高端半导体装备及制造平台智能化改造项目(中国电子科技集团有限公司) 大型

为满足我国集成电路芯片制造特别是高端制程装备对智能化"三束"高端半导体装备的需求,拟通过本项目的建设,对48所"三束"高端半导体装备及制造平台进行智能化升级改造:通过引进先进的自动化仪器设备、实施智能化的生产管理系统、优化生产工艺及测试验证系统等措施,对研发设计进行智能化模拟提升;建设生产数据智能化采集及控制系统,对设备的研发生产进行可视化、数字化、自动化等智能化改造,提升装备研发和生产的智能化水平,形成年产40台(套)制造能力,提升智能化三束高端半导体装备创新发展的能力,突破满足先进制程的特种离子注入机、电子束直写设备和分子束外延设备等产品智能化关键技术,完成三束装备智能化改造升级,研制出智能化"三束"高端半导体装备,实现我国产高端半导体装备的跨越式发展,推动我国产半导体装备自动化到数智化的进阶

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。