碳化硅高温离子注入机研发与产业化项目(艾恩(山东)半导体科技有限公司) 大型

此项目改造装修现有车间,建筑面积----,新购置机械手、电加热水洗、源磁铁、高压电源等离子注入机相关零部件,主要用于碳化硅离子注入机的研发与设计.项目优化了光路、al离子源仿真改进,自研金属al源寿命长≥150小时;改进了束流和剂量的测量与控制方法,autoturnbeam成功率>90%,生产效率是同类型设备的1.5倍以上;重构了软件系统,设备控制、人机操作及数据处理完全分离,双控制系统;成环形状或四象限区域分布,一次性实现四种工艺条件,可在一片晶圆的四个象限同时注入不同剂量

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。