年产100台纳米压印光刻技术装备制造中心技术升级改造项目(青岛天仁微纳科技有限责任公司) 大型
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项目概况
工程地区 | 山东省-青岛市-城阳区 | 项目类型 | 其他公共建筑 |
| 项目阶段 | 立项 | 建设性质 | 改扩建 |
| 甲方类型 | -- | 外资类型 | -- |
| 层高 | -- | 建设周期 | 2024年4季度 - 2026年2季度 |
| 投资金额（万元） | 20454.64 | 更新时间 | 2024-08-15 （发布：2024-08-15） |
| 项目地址 | |||
| 项目描述 | 项目生产规模年产100余台纳米压印光刻设备，建设面积总计1.8万余----米，其中包括建设百级无尘洁净室8000 ----米和千级洁净室4000 ----米，百级洁净室用于纳米压印先进工艺技术研发、压印工艺咨询等技术服务，千级洁净室用于开展纳米压印工艺所需基础物料（对准标记，工作模具，纳米压印胶等）的制备并进行压印工艺验证实验（本项目的压印工艺验证实证不形成实际产能）。6000 ----米车间用于纳米压印光刻设备的批量组装生产及调试，拟采购工艺生产设备三十余套，包括电子束直写光刻机（EBL）、等离子体增强化学沉积（PECVD）、金属层生长（sputter）设备、KLA P17 表面轮廓仪、三坐标显微镜等设备。 | ||
项目主要材料设备 | 暂无材料信息 | ||
| 项目工期及阶段 | 截止目前2024年8月15日，该项目处于立项阶段，预计2024年4季度开工 | ||
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