先进制程用静电卡盘研发及产业化项目(湖北芯陶科技有限公司) 大型
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项目概况
工程地区 | 湖北省-武汉市-蔡甸区 | 项目类型 | 其他公共建筑 |
| 项目阶段 | 立项 | 建设性质 | 新建 |
| 甲方类型 | -- | 外资类型 | -- |
| 层高 | -- | 建设周期 | -- |
| 投资金额（万元） | 29260 | 更新时间 | 2025-11-24 （发布：2025-11-24） |
| 项目地址 | |||
| 项目描述 | 项目拟购置球磨设备、烧结装置、研磨机床等设备，完成刻蚀领域用静电卡盘、PVD领域静电卡盘、CVD领域静电卡盘、IMP领域静电卡盘、多区陶瓷加热盘等研发及产业化能力建设，形成年产3000颗先进制程用静电卡盘的生产能力。 | ||
项目主要材料设备 | 暂无材料信息 | ||
| 项目工期及阶段 | 截止目前2025年11月24日，该项目处于立项阶段 | ||
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单位：湖北芯陶科技有限公司