新增离子注入机项目(武汉新芯集成电路股份有限公司) 大型

一、建设内容：在FAB 12a离子注入区新增离子注入机5台 , 在FAB 12b离子注入区新增离子注入机4台；二、建设规模：在FAB 12a离子注入区 使用CIP900型离子注入机2台（着靶束流2.5mA,束能量900KeV）, 使用iStellar-500型离子注入机2台（着靶束流20mA,束能量60KeV），使用Trident XP型离子注入机1台（着靶束流20mA,束能量60KeV）； 在FAB 12b离子注入区 使用Trident XP型离子注入机1台（着靶束流20mA,束能量60KeV） ，使用Purion VXE型离子注入机1台（着靶束流1.2mA,束能量8000KeV），使用VIISta 900 XPT型离子注入机1台（着靶束流5mA,束能量900KeV），使用CIP900型离子注入机1台（着靶束流2.5mA,束能量900KeV）。

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。