富芯12英寸模拟芯片及功率器件国产干式光刻机验证与量产项目(浙江省杭州市) 大型

本项目依托富芯公司在模拟芯片工艺技术领域的深厚制造经验积累，并融合前期工业及车规级工艺平台的量产实践经验，总投资额为13400万元。项目利用杭州富芯半导体有限公司现有厂房及生产线，开展国产光刻机的验证工作。验证流程涵盖装机与可靠性测试、工艺匹配与小批量试产、大批量压力测试与长期观察，以及良率与可靠性的最终认定等关键环节。项目主要建设内容为：生产12英寸模拟芯片及功率器件产品，确保满足器件需求并实现量产。同时，采购国产干式i-line光刻机1台及KrF光刻机1台，以满足验证指标要求，加速推进国产干式光刻机的推广应用。

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。